9N系列純化器：鄭州云湛科技的9N高純純化器工藝介紹：1、氣體通過高溫催化氧化工序?qū)怏w的N2和CH4等雜質(zhì)還原成H20和CO2 2、吸附柱吸附飽和后可加熱再生、反復(fù)使用。 3、氣體通過多柱吸附工序，深度脫除氣體中的O2、H2O、CO2、CO、H2等雜質(zhì)。

9N系列純化器典型應(yīng)用

芯片半導(dǎo)體、LED、激光、光纖行業(yè)、集成電路產(chǎn)業(yè)

工業(yè)介紹

1、氣體通過高溫催化氧化工序?qū)怏w的N2和CH4等雜質(zhì)還原成H20和CO2

2、吸附柱吸附飽和后可加熱再生、反復(fù)使用。

3、氣體通過多柱吸附工序，深度脫除氣體中的O2、H2O、CO2、CO、H2等雜質(zhì)。

鄭州云湛科技的9N高純純化器工藝介紹：1、氣體通過高溫催化氧化工序?qū)怏w的N2和CH4等雜質(zhì)還原成H20和CO2 2、吸附柱吸附飽和后可加熱再生、反復(fù)使用。 3、氣體通過多柱吸附工序，深度脫除氣體中的O2、H2O、CO2、CO、H2等雜質(zhì)。

純化指標(biāo)氣體類別
可純化氣體去除雜質(zhì)純

氣體類別	可純化氣體	去除雜質(zhì)	純化指標(biāo)
D-惰性氣體	N2、Ar、He、Ne、Kr	H2O、O2、CO、CO2、H2、CH4、NMHC	<1ppb
Y-氧氣	O2XCDA	H2O、CO2、NMHC
Q-氫氣	H2	H2O、O2、CO、CO2、CH4、NMHC